INSTRUMENTS
機器一覧
透過電子顕微鏡
JEOL ARM 200F
高分解能走査透過電子顕微鏡観察
エネルギー分散X線分光
格子歪みマッピング(ナノビーム電子回折)
プリセッション電子回折
(総合理工学研究院共用設備)
FEI(ThermoFisher) Titan cubed G2
高速走査透過電子顕微鏡観察
電子エネルギー損失分光
電子線トモグラフィー
(総合理工学研究院共用設備)
JEM 3200FSK
高分解能透過電子顕微鏡観察
電子エネルギー損失分光
カソードルミネセンス（導入中）
専用周辺機器
三次元観察及びその場観察のための試料ホルダー
嫌気性・反応性試料用グローブボックス
各種試料ホルダー
高角度三軸ホルダー
高傾角冷却ホルダー(液体窒素用)
二軸傾斜冷却ホルダー(液体窒素用)
(総合理工学研究院共用設備)
高傾角カートリッジ型応力印加ホルダー
二軸傾斜MEMSチップ型加熱ホルダー
(総合理工学研究院波多研究室設備)
メーカー(Mel-Build Co.)のHPへのリンクはこちらです。 (Mel-Build Co.)
各種特殊試料ホルダーの多くはMel-Build Co.(福岡)と共同開発されました。
嫌気性・反応性試料用グローブボックス
嫌気性・反応性試料を不活性ガスの中で取り扱うためのグローブボックスです。封入機構を搭載した専用のホルダーで試料が電子顕微鏡内まで移送されるため、大気に暴露されない。
(総合理工学研究院波多研究室設備)
光学顕微鏡
フォトルミネセンス測定
ナノ秒パルスレーザーでの時間分解測定(準備中)
マイクロマニピュレータ(例：集束イオンビーム加工試料の移送)
集束イオンビーム―走査電子顕微鏡
FEI(ThermoFisher) Scios
Gaイオンビーム
マイクロスケール試料作製
電子後方散乱回折
冷却ステージ
(総合理工学研究院共用設備)
FEI(ThermoFisher) Helios 5 Hydra
プラズマイオンビーム源(Xe, Ar, O, N)
サブミリスケール試料作製
エネルギー分散X線分光
電子後方散乱回折
飛行時間型二次イオン質量分析
グローブボックスからの真空移送機構
(総合理工学研究院波多研究室設備)
試料作製機器
ソフトウェア
三次元再構成(Temography, Inspect 3D)
有限差分時間領域法(CrystalWave)
機械学習＆画像処理(Dragonfly)
Gatan DigitalMicrograph
Python, Matlab, Mathematica-based Homemade softwares
データ処理・解析用のWindows PCの1例
Dragonflyにより構築された深層学習ノイズフィルター